Lam Research verlangt die Vernichtung von PSKs Bevel-Etchern – im Oktober urteilt Seoul

Neun Minuten Umsatz – oder eine ganze Produktlinie

Am 17. September schloss das Bezirksgericht Seoul-Mitte nach der sechsten Anhörung die mündliche Verhandlung in der 2021 eingereichten Patentklage↗, die Lam Research gegen den koreanischen Anlagenbauer PSK angestrengt hat. Das Gericht kündigte ein Urteil für Oktober an ¹. Lam wirft dem Bevel-Etcher PRECIA vor, das koreanische Patent 1249247↗ zu verletzen, und fordert zweierlei: 600 Millionen Won Schadensersatz und die Vernichtung der PSK-Anlagen ¹. Umgerechnet sind das bei einem Kurs von rund 1.371 Won je Dollar etwa 438.000 Dollar ². Lam setzte im Quartal bis zum 28. Juni 6,72 Milliarden Dollar um ³ – die Schadensersatzforderung entspricht damit etwa neun Minuten des eigenen Umsatzes.

Ein Anbieter oder zwei – mitten im HBM-Boom

Ein Bevel-Etcher entfernt die instabilen metallischen und nichtmetallischen Schichten, die sich am Rand eines Wafers ablagern. Lässt man sie liegen, schädigen sie – wie die Patentschrift selbst ausführt – die gerade gefertigten Chips erheblich ¹⁷. PSK hat die Anlage heimisch gemacht und beliefert SK hynix. Bevor PSK antrat, beherrschte Lam den Markt allein – so The Elec↗, das einzige Medium, das die Anhörungen verfolgt ¹.

Deshalb reicht ein Streit um Bauteile der Prozesskammer bis ins Geschäft mit künstlicher Intelligenz. SK hynix hat rund 54 Billionen Won – umgerechnet etwa 38,1 Milliarden Dollar – für zwei neue koreanische Fabriken für HBM und DRAM zugesagt ⁴, kommt auf 58 Prozent des weltweiten HBM-Umsatzes ⁵; dessen Konzernchef geht davon aus, dass die Speicherknappheit bis 2030 anhält ⁵. Gibt das Gericht dem Vernichtungsbegehren statt, verlieren Koreas Speicherriesen ihren einzigen heimischen Hersteller von Maschinen für die Waferkantenbearbeitung.

Ring oder Platte – gestritten wird um eine Zeichnung

Das Urteil dreht sich um ein Verbrauchsteil der Prozesskammer. Lams Patent schützt einen ringförmigen Gasdiffusor mit offener Mitte. PSK beharrt darauf, dass sein Bauteil eine Platte mit geschlossener Mitte ist ¹.

In der Anhörung legte PSK Zeichnungen vor, in denen bei jeder Maßangabe die erste Nachkommastelle geschwärzt war. Lam zählte vier Beschriftungen mit GDR statt GDP und nannte die Einlassung, es habe sich um einen einmaligen Tippfehler gehandelt, schwer akzeptabel. PSKs Konter: Eine Abfrage im eigenen Teilesystem liefere einen ganzen Stapel GDP-Einträge und nicht ein einziges GDR ¹. In derselben Akte findet sich Samsung Electronics; die geschwärzten Werte sind PSK zufolge die Spezifikationen für den Edge-Strip-Prozess, die Samsung angefragt hatte – der Radius jeder Platte war darauf abgestimmt ¹.

Zwölf Klagen, eine Strategie

Der Fall ist ein Frontabschnitt einer Kampagne. Seit 2020 hat Lam zwölf Patentklagen gegen koreanische Zulieferer eingereicht. Seine Patentregistrierungen in Korea stiegen von 68 im Jahr 2020 auf 344 im Jahr 2025, wie aus Abgeordnetendaten↗ hervorgeht, über die die Chosun Ilbo berichtet hat ⁶. Zwei Patente, die mit dem PSK-Streit zusammenhängen, hat die Nichtigkeitsinstanz bereits für nichtig erklärt; Lams Position: Gültigkeit und Verletzung seien zwei getrennte Fragen ⁶. Die Branche formuliert es schroffer: Urteile kann man sich schenken, wenn es in Wahrheit um Jahre Verzögerung geht ⁶.

Ein Patent in seinen letzten Wochen

Das Patent selbst geht dem Ende entgegen. Angemeldet hat es im Dezember 2006 ein koreanisches Ingenieurunternehmen, erteilt wurde es 2013; Lam macht die ausschließlichen Rechte daraus geltend ¹⁷. Das Register verzeichnet den Nichtigkeitsantrag vom Januar 2022, der auf die Klage folgte ⁷. Es ist weiterhin in Kraft und läuft am 21. Dezember 2026 ab ⁷. Das Urteil im Oktober ergeht, wenn ausgerechnet dem Recht, um das hier gestritten wird, nur noch wenige Wochen durchsetzbare Geltung bleiben.

Was der Oktober entscheidet

Das Gericht wies Lans Begehren auf Vorlage der Steuerunterlagen von PSK ab und erklärte, es könne die mündliche Verhandlung nach Durchsicht der Akten wieder eröffnen ¹. PSK meldete im Kalenderjahr 2025 einen Umsatz von 457,2 Milliarden Won, umgerechnet rund 334 Millionen Dollar↗ und peilt bis 2030 eine Milliarde Dollar Umsatz an ⁸².

Der Oktober entscheidet etwas Einfacheres als die Geldfrage: ob SK hynix und Samsung eine zweite heimische Bezugsquelle für die Waferkantenbearbeitung behalten oder alles allein vom Kläger beziehen.

Die 600 Millionen Won sind Rauschen. Das Vernichtungsbegehren ist das Signal.