램리서치 "PSK 베벨 에처 폐기하라"…서울 법원, 다음 달 선고

매출 9분이냐, 제품 라인이냐

서울중앙지방법원은 지난 17일 6차 변론기일에서 램리서치가 국내 장비업체 PSK를 상대로 제기한 2021년 특허소송↗의 변론을 종결하고 오는 10월에 선고하겠다고 밝혔다 ¹. 램리서치는 PSK의 베벨 에처 'PRECIA'가 한국 특허 1249247호↗를 침해했다고 주장한다. 청구는 두 가지다. 6억원의 손해배상과 PSK 장비의 폐기다 ¹. 이 돈은 1달러당 1,371원 안팎의 환율로 환산하면 약 43만8000달러다 ². 램리서치는 지난 6월 28일 끝난 분기에 매출 67억2000만달러를 기록했다 ³. 배상 청구액을 자사 매출로 환산하면 약 9분치다.

HBM 호황 속, 공급자는 하나냐 둘이냐

베벨 에처(bevel etcher)는 웨이퍼 에지에 쌓이는 불안정한 금속·비금속 박막을 제거하는 장비다. 이 막을 그대로 두면 생산 중인 칩이 심각하게 손상된다고 특허 명세서 스스로 적고 있다 ¹⁷. PSK는 이 장비를 국산화해 SK하이닉스에 공급하고 있다. PSK가 등장하기 전 이 시장은 램리서치가 혼자 쥐고 있었다고, 이 재판을 취재하는 유일한 언론인 더일렉(The Elec)↗이 전했다 ¹.

챔버(chamber) 부품을 둘러싼 다툼이 AI 반도체 시장까지 번지는 이유가 여기에 있다. SK하이닉스는 HBM과 D램 생산을 위한 국내 신규 팹 2곳에 약 54조원(약 381억달러)을 투자하기로 했다 ⁴. 글로벌 HBM 매출의 58%를 차지하고 있으며 ⁵, CEO는 메모리 공급난이 2030년까지 이어질 것으로 보고 있다 ⁵. 폐기 청구가 받아들여지면 한국 메모리 강자들은 웨이퍼 에지 가공 장비의 유일한 국내 제조사를 잃게 된다.

링이냐 패널이냐, 도면 한 장의 공방

판결의 향방은 소모성 챔버 부품 하나에 달려 있다. 램리서치 특허는 중앙이 뚫린 링 모양의 가스 디퓨저(gas diffuser)를 권리 범위로 하고 있다. PSK는 자사 부품은 중앙이 막힌 패널이라고 맞서고 있다 ¹.

이날 심리에서 PSK는 모든 치수의 소수점 첫째 자리를 가린 도면을 제출했다. 램리서치 측은 도면에서 GDP가 아닌 GDR로 표기된 부분이 네 군데라고 짚으며 '단순 오타'라는 해명은 받아들이기 어렵다고 맞쐈다. PSK의 재반박은 이렇다. 자사 부품 시스템을 검색하면 GDP 항목이 무더기로 나오고 GDR은 단 한 건도 없다는 것이다 ¹. 같은 사건 기록에는 삼성전자도 들어 있다. 가려진 수치는 삼성전자가 요청한 공정 에지 스트립(process edge strip) 사양이고, 각 패널의 반지름은 여기에 맞게 줄어든 값이라는 게 PSK 측 설명이다 ¹.

소송 12건, 전략은 하나

이번 소송은 램리서치가 벌인 공세의 한 전선에 불과하다. 램리서치는 2020년 이후 국내 공급업체를 상대로 특허 소송 12건을 냈다. 조선일보가 보도한 국회 의원 자료↗에 따르면 이 회사의 국내 특허 등록 건수도 2020년 68건에서 2025년 344건으로 급등했다 ⁶. PSK와의 다툼과 연결된 특허 두 건은 이미 특허심판원에서 무효 심결을 받았다. 램리서치는 유효성과 침해 여부는 별개의 문제라는 입장이다 ⁶. 업계의 시각은 더 직설적이다. 핵심이 수년간의 시간 끌기라면 판결은 옵션에 불과하다는 것이다 ⁶.

수명이 몇 주밖에 안 남은 특허

정작 특허 자체는 갈 길이 얼마 남지 않았다. 이 특허는 2006년 12월 한국의 한 엔지니어링 업체가 출원해 2013년 등록된 것으로, 램리서치가 독점적 권리를 갖고 행사하고 있다 ¹⁷. 특허등록원부에는 소송에 뒤이어 2022년 1월 제기된 무효심판 청구도 기록돼 있다 ⁷. 특허는 여전히 유효하며 만료일은 2026년 12월 21일이다 ⁷. 10월 판결이 나올 때쯤이면 다툼의 대상인 바로 그 권리가 강제력을 유지할 수 있는 기간은 몇 주밖에 남지 않는다.

10월 판결이 정할 것

재판부는 램리서치가 낸 PSK 세무자료 제출 요구를 거절하고, 기록을 검토한 뒤 변론을 재개할 수 있다고 밝혔다 ¹. 2025년 연간 매출 4572억원(약 3억3400만달러)을 올린↗ PSK는 2030년까지 매출 10억달러 달성을 목표로 하고 있다 ⁸².

10월 판결이 정하는 것은 돈보다 단순한 문제다. SK하이닉스와 삼성전자가 웨이퍼 에지 가공의 국내 제2 공급처를 계속 확보하느냐, 아니면 원고인 램리서치 한 곳에서만 사들이느냐다.

6억원은 잡음에 불과하다. 장비 폐기 요구가 진짜 신호다.