泛林集团要求销毁PSK边缘刻蚀设备 首尔法院下月宣判

九分钟的营收，还是一条产品线？

9月17日，首尔中央地方法院就泛林集团对韩国设备制造商PSK提起的2021年专利诉讼↗举行第六次庭审并结束法庭辩论，宣布将于10月宣判¹。泛林指控PSK的PRECIA边缘刻蚀设备（bevel etcher）侵犯韩国专利第1249247号↗，并提出两项诉求：赔偿6亿韩元；销毁PSK的设备¹。这笔赔偿按约1371韩元兑1美元的汇率折算，约合43.8万美元²。泛林在截至6月28日的财季录得营收67.2亿美元³，以此计算，索赔金额大约只相当于自身九分钟的销售额。

HBM热潮下：独家供应，还是两家并存？

边缘刻蚀设备清除积聚在晶圆边缘的不稳定金属与非金属薄膜；该专利的说明书本身就写明，这些薄膜若不除去，将严重损害正在制造的芯片¹⁷。PSK实现了这类设备的本土化生产，向SK海力士供货。据唯一持续跟踪本案庭审的The Elec↗报道，在PSK入场之前，该市场一直由泛林独家占据¹。

正因如此，这起腔体部件纠纷才会牵动AI产业。SK海力士已承诺投入约54万亿韩元（约合381亿美元），在韩国新建两座晶圆厂，生产HBM（高带宽存储器）和DRAM⁴；该公司占据全球HBM营收的58%⁵，首席执行官还预计，存储芯片供应短缺将延续至2030年⁵。若法院支持销毁设备的诉求，韩国存储巨头将失去晶圆边缘设备唯一的本土制造商。

环形还是面板：争议聚焦一张图纸

本案判决的关键，在于一个消耗性腔体部件。泛林的专利覆盖一种中心开孔的环形气体扩散器；PSK则坚称，自己的部件是中心封闭的面板¹。

庭审中，PSK提交的图纸将所有尺寸的第一位小数全部遮去；泛林清点出图中四处标注写作GDR而非GDP，认为“一次性笔误”的抗辩难以采信。PSK反驳称：检索自家零部件系统，返回的是一大堆GDP条目，不见一个GDR¹。同一案卷中还涉及三星电子；PSK表示，被遮盖的数字是三星要求的边缘剥离（edge strip）工艺规格，每块面板的半径均据此调整¹。

十二起诉讼，指向同一套策略

本案只是这场攻势的一条战线。自2020年以来，泛林已对韩国供应商提起12起专利诉讼；据《朝鲜日报》报道的议员数据↗，泛林在韩国的专利注册量已从2020年的68件攀升至2025年的344件⁶。与PSK之争相关的两项专利，已在专利审判院被裁定无效；泛林的立场是，专利有效性与是否侵权是两个独立问题⁶。业界的解读更直白：既然图的是拖延数年，判决本身可有可无⁶。

涉案专利只剩几周寿命

这项专利本身也已时日无多。它于2006年12月由一家韩国工程公司提出申请，2013年获得授权，如今由泛林凭独占权利行使¹⁷；专利登记簿记录着本案起诉后于2022年1月发起的无效宣告请求⁷。该专利目前仍处于有效状态，将于2026年12月21日到期⁷。等到10月判决出炉，这项处于争议之中的权利只剩几周可以主张——法庭要裁决的，正是它。

10月判决将决定什么

法院驳回了泛林调取PSK税务记录的请求，并表示可能在审阅案卷后重新开庭辩论¹。PSK披露2025自然年营收4572亿韩元（约合3.34亿美元）↗，正力争到2030年实现10亿美元销售额⁸²。

10月判决要解决的，是一件比钱更简单的事：SK海力士和三星能否保住晶圆边缘加工的本土第二供应来源，还是只能向原告泛林一家采购。

6亿韩元的索赔是噪音。销毁设备的要求，才是信号。